X熒光光譜儀（XRF）由激發(fā)源（X射線管）和探測系統(tǒng)構成。X射線管產生入射X射線（一次X射線），激發(fā)被測樣品。rohs指令是國家剛頒布的《電子電氣設備中限制使用某些有害物質指令》的簡稱。顧名思義，RoHS檢測儀是一種檢測ROHS的檢測儀，原理是利用X射線檢測ROHS標準規(guī)定中的元素的含量，這些元素包括：

1．鉛 1000ppm以下 4．六價鉻 1000ppm以下

2．水銀 1000ppm以下 5．多溴聯(lián)苯（PBB） 1000ppm以下

3．鎘 100ppm以下 6．多溴二苯醚（PBDE） 1000ppm以下

RoHS檢測儀有很多種，價格也不等，但都比較貴，只有大的檢測中心和大型的公司有。目前很多專門機構都提供ROHS檢測的服務。

受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次X射線的能量及數量。然后，儀器軟件將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉換成樣品中各種元素的種類及含量。

元素的原子受到高能輻射激發(fā)而引起內層電子的躍遷，同時發(fā)射出具有一定特殊性波長的X射線，根據莫斯萊定律，熒光X射線的波長λ與元素的原子序數Z有關，其數學關系如下：

λ=K(Z− s) −2

式中K和S是常數。

而根據量子理論，X射線可以看成由一種量子或光子組成的粒子流，每個光具有的能量為：

E=hν=h C/λ

式中，E為X射線光子的能量，單位為keV；h為普朗克常數；ν為光波的頻率；C為光速。

因此,只要測出熒光X射線的波長或者能量,就可以知道元素的種類，這就是熒光X射線定性分析的基礎。此外,熒光X射線的強度與相應元素的含量有一定的關系，據此，可以進行元素定量分析。

優(yōu)點

a) 分析速度高。測定用時與測定精密度有關，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。

b) X射線熒光光譜跟樣品的化學結合狀態(tài)無關，而且跟固體、粉末、液體及晶質、非晶質等物質的狀態(tài)也基本上沒有關系。（氣體密封在容器內也可分析）但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現象。特別是在超軟X射線范圍內，這種效應更為顯著。波長變化用于化學位的測定。

c) 非破壞分析。在測定中不會引起化學狀態(tài)的改變，也不會出現試樣飛散現象。同一試樣可反復多次測量，結果重現性好。

d) X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學性質上屬同一族的元素也能進行分析。

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